21 系列標準型質量流量控制器，采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳 感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用 戶標準工況進行修正。具有 NIST 可溯源校準證書。 可用于快速精確地測量并控制過程氣體的質量流量、體積流量、壓力，并 顯示氣體溫度，適用于多種流量測控場合。設備采用快速穩定的優質電磁 閥以及優化的 PID 調校，可達到優于 100 ms 的控制速度，并保持穩 定性，并有超低壓損產品可供您選擇。

行業應用

● 大學 / 研究所

● 環境監測

● 真空行業及鍍膜

● 工業爐窯

● 半 導 體 

● 汽車制造 

● 光 伏

● 燃料電池 

● 計量校準 

● 過程工藝氣體測量

精度升級

量程為 0.5 SCCM - 6000 SLPM， 其中 10 SCCM - 20 SLPM 量程段，下述指標升級：

質量流量普通精度 ± 0.6% 讀數或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）

質量流量高精度 ± 0.5% 讀數或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）

重復性 ±（0.1% 讀數 + 0.02% 滿量程）

質量流量零點漂移 ± 0.01% 滿量程 / ℃溫差  ± 0.01% 滿量程 / Atm 壓力差

質量流量量程漂移 ± 0.01% 讀 數 / ℃溫差  ± 0.1 % 讀 數 / Atm 壓力差

標準型質量流量控制器性能指標

介質要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質種類 內置了 98 種氣體，請參考背面  一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇

量 程 從 0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM

測量和控制范圍 0.01~100% 滿量程

最大顯示流量 128 % 滿量程

最大可控流量 102.4 % 滿量程

顯 示 屏 按鍵操作，標準為 LCD 黑白

顯示屏（帶背光），  可選 TFT 彩色顯示屏

顯示方式 同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精 度  ±（0.8 % 讀數 + 0.2 % 滿量程）精度升級部分見左下角

         ±（0.4 % 讀數 + 0.2 % 滿量程）（可選）

累計流量精度 流量精度之外增加 ±0.5% 讀數的額外誤差

重 復 性 ± 0.2 % 滿量程

零點漂移 & 滿量程漂移 0.02 % 滿量程 / ℃ / Atm

響應時間 優于 100 ms  

預熱時間 ＜ 1 s 標定工況 25 ℃ & 1Atm（其它標況可調）

工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫選項至 100℃）

溫度精度 ± 0.75 ℃  

工作濕度 0 ~ 95 %，無冷凝

最大工作壓力 1 MPaG（可選 2 MPaG 高壓選項）

低操作壓力 如果不做真空特殊標定，建議在絕壓 80 KPaA 以上使用；  

其他真空壓力建議做特殊標定

壓力精度 ± 0.5 % 讀數（讀數＞ 1Atm）或 ±0.07 PSIA（＜ 1Atm）

滿量程壓損 參考背面詳細壓損表

數據刷新頻率 數字信號 40 Hz@19200 波特率；模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率 10 Hz

數字輸入 / 輸出信號 RS232、RS485、Modbus TCP/IP、DeviceNet、  EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*、Modbus RTU（RS232/RS485）

模擬輸入 / 輸出信號 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA